Breve introdução
- Os materiais alvo de titânio são feitos de titânio de alta-pureza ou ligas de titânio. A pureza de 99,9% a 99,9999%. São um tipo de material altamente puro, produzido através do processo de deposição física de vapor (PVD), e são utilizados principalmente na tecnologia de revestimento por pulverização catódica.
- O próprio titânio é um metal de transição com excelente resistência ao calor e resistência, e é por isso que os materiais alvo feitos a partir dele têm um bom desempenho em ambientes de alta-temperatura e alta-pressão.
- Esse tipo de material alvo é usado principalmente em semicondutores, revestimento óptico, revestimento decorativo, anti-corrosão industrial e outros campos, e é um dos principais materiais básicos na fabricação-de alta qualidade.
Especificações e propriedades dos materiais
- Especificação de pureza:
99,9% (3N): É comumente usado em áreas como revestimentos decorativos com requisitos de pureza relativamente baixos e revestimentos de ferramentas.
Maior ou igual a 99,99% (4N): Esta é a linha de base para aplicações em campos como novas energias (como energia solar).
99,995% (4N5): A pureza típica dos principais materiais alvo de titânio usados em semicondutores.
Maior ou igual a 99,999% (5N): usado principalmente para a fabricação de dispositivos semicondutores-de última geração.
Maior ou igual a 99,9999% (6N): É utilizado principalmente na fabricação de circuitos integrados de grande escala (VLSI) com capacidade de 16 megabits ou mais e representa o mais alto nível de exigência.
- As formas e tamanhos dos materiais alvo de titânio são divididos principalmente em duas categorias. Eles também podem ser personalizados de acordo com as necessidades do cliente para atender às necessidades de diferentes ambientes de aplicação.
Material alvo cilíndrico
Diâmetro comum: 60 mm, 65 mm, 95 mm, 100 mm (usado principalmente para decoração e na indústria de ferramentas)
Comprimento comum:30mm, 32mm, 40mm, 45mm
Especificações comuns para revestimento de wafer:Φ200mm (wafer de 8 polegadas), Φ300mm (wafer de 12 polegadas)
- Material alvo cilíndrico (alvo giratório)
Esta é a escolha principal para revestimento de grandes-áreas, amplamente utilizada em painéis de exibição e campos fotovoltaicos, com uma taxa de utilização mais alta. Os tamanhos são diversos e precisam ser customizados de acordo com o projeto da linha de produção.
- Propriedades dos materiais
Com base nos requisitos de alto ponto de fusão e baixa densidade
Com requisitos relativamente altos de uniformidade e controle de impurezas
Campos de aplicação
Indústria de semicondutores: Os materiais alvo de titânio são usados na fabricação de semicondutores para depositar filmes de titânio, servindo como camadas condutoras ou camadas de barreira, e são amplamente aplicados em circuitos integrados e dispositivos microeletrônicos.
Revestimento óptico: os alvos de titânio podem ser usados para produzir revestimentos de alta refletividade ou anti{0}}reflexo, que são aplicados em lentes ópticas, telas de exibição e painéis solares, entre outros.
Revestimento decorativo: Os substratos de titânio podem ser revestidos com várias cores por meio do processo de pulverização catódica e são amplamente utilizados em relógios, joias e áreas de decoração de casa.
Dispositivos médicos: Os materiais de titânio são utilizados para fabricar revestimentos biocompatíveis, que são aplicados em dispositivos médicos, como articulações artificiais e implantes dentários, para aumentar a sua durabilidade e biocompatibilidade.
Aeroespacial: Os materiais de titânio são usados para produzir revestimentos resistentes a altas temperaturas e corrosão, e são aplicados em componentes de motores de aeronaves e na proteção de superfícies de naves espaciais.
Setor de energia: materiais alvo de titânio são usados em baterias de íons de lítio e células de combustível para preparar materiais de eletrodos, melhorando assim o desempenho e a vida útil das baterias.
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